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細節(jié)

數(shù)據(jù)

規(guī)范

Phoenix Microme|x Neo 160 系列

Phoenix Microme|x Neo 180 系列

Phoenix Nanome|x Neo 180

管材類型

打開 MicroFocus

打開 MicroFocus

開放式 NanoFocus

最大電壓/功率

160 kV / 20 瓦

180 千伏 / 20 瓦

180 千伏 / 20 瓦

最大細節(jié)檢測能力

0.5 微米

0.5 微米

0.2 微米

分辨率 （Jima 結(jié)構(gòu)）

2 微米

2 微米

0.8 微米

最大檢查區(qū)域

18 英寸 x 14 英寸

24“ x 20” 不帶旋轉(zhuǎn)工作臺

18 英寸 x 14 英寸

24“ x 20” 不帶旋轉(zhuǎn)工作臺

18 英寸 x 14 英寸

24“ x 20” 不帶旋轉(zhuǎn)工作臺

最大樣本量

27 英寸 x 25 英寸

27 英寸 x 25 英寸

27 英寸 x 25 英寸

最大樣品重量

10 公斤 / 22 磅。

10 公斤 / 22 磅。

10 公斤 / 22 磅。

3D CT 選項

是的

是的

是的

Plananr CT

是的

是的

是的

關(guān)鍵應(yīng)用

PCB 檢測

PCB檢查和復(fù)雜組裝

PCB檢查&復(fù)雜組裝&半導(dǎo)體